光氧催化凈化器是一種專門去除氣體及惡臭氣體的一種裝置。是等離子分解廢氣凈化器+UV光解除臭廢氣凈化器兩種設備的結合，綜合采用了等離子廢氣凈化器和紫外光觸媒除臭廢氣凈化器兩種設備的優點組合而成。利用等離子分解技術和UV紫外光解技術相結合，對廢氣和臭氣進行協同凈化處理。
當廢氣進入光氧催化凈化器內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。廢氣和惡臭氣體進入集成設備后，經過UV紫外光束區時，被紫外光波地照射，瞬間產生光解反應，打開廢氣和臭味污染物分子的化學鍵，破壞其分子結構和核酸；利用紫外光波分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧，使呈游離狀態的污染物分子與臭氧氧化結合成小分子或低害的化合物。如CO2、H2O等。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧)。
然后部分廢氣再通過破壞、分解、催化氧化把污染氣體分解為無味氣體。采用C波段光線強裂污染氣體分子鏈，改變物質分子結構，將高分子污染物質裂解、氧化成為低分子物質，如水和二氧化碳等。O3強催化氧化劑進行廢氣催化氧化, 可地殺滅，將物質破壞且改變成為低分子物質。
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