*牛津CMI760臺(tái)式銅厚測(cè)試儀測(cè)試原理：
孔銅(ETP)測(cè)試原理
通過(guò)渦流的原理來(lái)測(cè)量的,ETP探頭上有一根探針,探針是由兩個(gè)線圈組成的,測(cè)量時(shí)其中一個(gè)線圈發(fā)射電磁場(chǎng)，導(dǎo)體內(nèi)部自由電子在電磁場(chǎng)中做圓周運(yùn)動(dòng)，產(chǎn)生回旋電流（即渦流），渦流再產(chǎn)生一個(gè)與該線圈產(chǎn)生的電磁場(chǎng)方向相反的電磁場(chǎng)，由另一個(gè)線圈接收，產(chǎn)生電信號(hào)，由于孔銅厚度不同而此信號(hào)大小不同而測(cè)量出孔銅厚度。這樣可以看出金屬的電導(dǎo)率不同其產(chǎn)生電信號(hào)強(qiáng)弱也不同,所以測(cè)出的厚度也不一樣．所以要設(shè)定基材銅(面銅)﹑板厚和蝕刻前后項(xiàng)目.
*牛津CMI760臺(tái)式銅厚測(cè)試儀型號(hào)說(shuō)明：
| 型號(hào) | CMI760 | CMI760E | 備注 |
| 名稱(chēng) | 臺(tái)式面銅測(cè)厚儀 | 臺(tái)式孔、面銅測(cè)厚儀 |
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| 標(biāo)配 | l 700 SERIES主機(jī)及證書(shū) l SRP-4面銅探頭（內(nèi)含SRP-4探針） l NIST認(rèn)證的面銅標(biāo)準(zhǔn)片及證書(shū) | l 700 SERIES主機(jī)及證書(shū) l SRP-4面銅探頭（內(nèi)含SRP-4探針） l NIST認(rèn)證的面銅標(biāo)準(zhǔn)片及證書(shū) l ETP孔銅探頭 l NIST認(rèn)證的ETP標(biāo)準(zhǔn)片及證書(shū) | SRP-4探針又稱(chēng)水晶頭 |
| 選配 | l SRG軟件：數(shù)據(jù)不可編輯 l SRGD軟件：帶數(shù)據(jù)庫(kù) |
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700 SERIES主機(jī)參數(shù)：
l 存 儲(chǔ) 量：8000字節(jié)，非易失性
l 尺 寸：長(zhǎng)×寬×高292.1×270×140mm
l 重 量：2.79Kg
l 電 源：AC220V
l 單位轉(zhuǎn)換：通過(guò)一個(gè)按鍵實(shí)現(xiàn)英制和公制的自動(dòng)轉(zhuǎn)換
l 單 位：可選mils 、μm、μin、mm、in或%為顯示單位
l 接 口：RS-232 串行接口，波特率可調(diào)，用于下載至打印機(jī)或計(jì)算機(jī)
l 顯 示：帶背光和寬視角的大LCD液晶顯示屏，480(H)×32(V)象素
l 統(tǒng)計(jì)顯示：測(cè)量個(gè)數(shù)，標(biāo)準(zhǔn)差，平均值，zui大值，zui小值
l 統(tǒng)計(jì)報(bào)告：需配置串行打印機(jī)或PC電腦下載，存儲(chǔ)位置，測(cè)量個(gè)數(shù)，銅箔類(lèi)型，線形銅線寬，測(cè)量日期/時(shí)間，平均值，標(biāo)準(zhǔn)差，方差百分比，準(zhǔn)確度，zui高值，zui低值，值域，CPK 值，單個(gè)讀數(shù)，時(shí)間戳，直方圖
l 圖 表：直方圖，趨勢(shì)圖，X-R 圖
ETP孔銅探頭參數(shù)：
l 準(zhǔn)確度：5%，參考標(biāo)準(zhǔn)片
l 精確度：1.2 mil 時(shí)，1.0% （典型情況下）
l 分辨率：0.01 mils (0.25 μm)
l 電渦流：遵守ASTM E37696 標(biāo)準(zhǔn)的相關(guān)規(guī)定
l 測(cè)量厚度范圍：2--102μm （0.08 -- 4.0 mils）
l 孔zui小直徑：Φ35 mils (Φ899 μm)
l 孔徑范圍：Φ0.899 mm--Φ3.0 mm
l 工作特點(diǎn)：應(yīng)用電渦流測(cè)試技術(shù)。測(cè)量時(shí)利用探頭釋放出電磁波，當(dāng)磁場(chǎng)切割金屬層時(shí)會(huì)發(fā)生磁場(chǎng)變化，通過(guò)計(jì)算此變化量計(jì)算出孔壁銅厚度。測(cè)量不受板內(nèi)層影響，即使是雙層板或多層板，甚至在有錫或錫/鉛保護(hù)層的情況下，同樣能夠良好工作。另外，探頭采用溫度補(bǔ)償技術(shù)，即使是剛從電鍍槽內(nèi)取出的板，也能測(cè)量孔銅厚度。
電渦流原理
*牛津CMI760臺(tái)式銅厚測(cè)試儀SRP-4面銅探頭參數(shù)：
l 準(zhǔn)確度：5%，參考標(biāo)準(zhǔn)片
l 精確度：化學(xué)銅：標(biāo)準(zhǔn)差0.2 %，電鍍銅：標(biāo)準(zhǔn)差0.3 %
l 分辨率：0.1μm≥10μm，0.01μm<10μm，0.001μm<1μm，0.01mils≥1 mil，0.001mils<1mil
l 厚度測(cè)量范圍：化學(xué)銅：0.25μm–12.7μm（10μin–500μin）
電鍍銅：2.5μm–254μm（0.1mil–10mil）
l 線性銅線寬范圍：203μm–7620μm（8mil–300mil
l 工作特點(diǎn)：應(yīng)用*的微電阻測(cè)試技術(shù)。系繩式探頭由四支探針組成，AB為正極CD為負(fù)極；測(cè)量時(shí)，電流由正極到負(fù)極會(huì)有微小的電阻，通過(guò)電阻值和厚度值的函數(shù)關(guān)系準(zhǔn)確可靠得出表面銅厚，不受絕緣板層和線路板背面銅層影響。耗損的SRP-4探針可自行更換，為牛津儀器產(chǎn)品。探頭的照明功能和保護(hù)罩方便測(cè)量時(shí)準(zhǔn)確定位。
