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HMDS氣相成底膜烘箱真空HMDS氣相烘箱

參考價	￥ 98980
訂貨量	≥1件

具體成交價以合同協議為準

公司名稱上海雋思實驗儀器有限公司
品牌雋思
型號
所在地上海市
廠商性質生產廠家
更新時間2024/11/28 11:06:38
訪問次數247

產品標簽:

HMDS烘箱 HMDS真空烘箱 HMDS涂膠機 HMDS烤箱 HMDS預處理系統

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公司介紹主營產品

上海雋思實驗儀器有限公司（以下簡稱“雋思儀器”）是一家專業從事儀器設備研發、生產、銷售及服務的企業。主要生產半導體工藝設備、環境模擬儀器設備、線纜試驗機、橡塑試驗檢測設備、黑蒜設備等的高新技術型企業，具有很強的自主開發、設計能力,服務于電子、電力、通訊、環保、農業，建筑，節能等行業；多年來，公司以“真摯的服務、優質的品質”為宗旨，為國內外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務。贏得了國內外客戶的*好評，更為我們業務的快速發展奠定了一定的基礎。我們的服務也更精益求精，更完善！
雋思儀器主要業務有HMDS預處理系統，HMDS烘箱，潔凈烤箱，百級潔凈烘箱，氮氣烘箱，高溫無氧烘箱，真空無氧烘箱，無塵無氧化烘箱，抗粘劑涂膠機，精密恒溫加熱臺，快速高低溫氣流儀，超低溫試驗箱，高低溫試驗箱，高低溫交變濕熱箱定做，HMDS真空涂膠烘箱，低溫脆性檢測儀，黑蒜發酵設備，導體直流電阻測試儀，電線電纜檢測儀器，真空烘箱，黑蒜試驗機，橡塑檢測試驗機等。
不斷追求技術進步、提升專業服務能力，做一個專業的儀器設備供應商是我們的發展目標。企業內部實施了CRM、ERP項目管理，在產品開發、質量控制、集成供應鏈、人力資源管理、財務管理等諸多方面取得了長足發展。同時建立了標準化的服務流程，形成了覆蓋全國的快速服務網絡，以盡心盡責的服務理念和完備的技術得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機會，以飽滿的熱情、真誠的服務與您共創燦爛的未來！

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產品簡介在線詢價

材質	不銹鋼316	工作室尺寸	300-1000mm
功率	2800	加工定制	是
類型	真空	適用范圍	半導體,電子，醫療，新材料
溫度范圍	200℃	重量	290kg

HMDS氣相成底膜烘箱真空HMDS氣相烘箱在晶圓上行噴涂hmds預處理的工藝，將晶圓表面親水性的置換為疏水性的，使晶圓表面接觸角達到65或更高。

HMDS氣相成底膜烘箱真空HMDS氣相烘箱產品信息

在集成電路制造的光刻工藝中，為了保證光刻膠在晶圓處理過程中更好的完成圖形轉移，需要在晶圓上行噴涂hmds預處理的工藝，將晶圓表面親水性的置換為疏水性的，使晶圓表面接觸角達到65或更高。

HMDS 可以通過旋轉稀釋溶液直接涂在晶片上，并允許 HMDS 旋轉干燥（HMDS 在室溫下非常易揮發）。如果 HMDS 不適當干燥，則會導致顯著的附著力損失。雖然直接旋涂很容易，它僅在置換一小部分硅烷醇基團時有效。迄今為止，施加增粘劑的優選方法是將基材置于 HMDS 蒸汽中，通常是在升高溫度和降低壓力下。這樣在沒有過多 HMDS 沉積的情況下對基材進行良好的涂覆，并且更高的溫度會導致與硅烷的反應更好。用 HMDS 正確處理后，基材可以放置數天而不會明顯重新吸附水。在同一HMDS氣相成底膜烘箱中進行脫水烘烤和蒸汽灌注可提供性能。

HMDS氣相成底膜烘箱真空HMDS氣相烘箱適用產品

硅片、磷化銦lnP、砷化鎵GaAs、鈮酸鋰LiNbO?、硫化鋅ZnS、掩膜版、玻璃、石英片、藍寶石、晶圓、碳化硅等第三代、第四代半導體材料等。

HMDS氣相成底膜烘箱真空HMDS氣相烘箱性能

HMDS藥液泄漏報警提示

HMDS低液位報警提示

工藝數據記錄功能

藥液管道預熱功能

程序鎖定保護等功能

產品兼容性：1-12寸產品、方片、碎片及大型面板（可定制）

溫度范圍：RT-200℃

真空度：1torr

操作方式：人機界面，一鍵運行