產品名稱：丹麥SENS4真空傳感器VPM-5

產品型號：VPM-5

產品介紹

VPM-5傳感器提供良好性能，并通過將可用的電導率真空測量儀的可用測量范圍擴展到1-3年來建立了新標準技術，再加上新型的準確數字信號處理架構和創新測量算法。

丹麥SENS4真空傳感器VPM-5 性能特點

l 超寬的測量范圍為9年

l 通過S4-Connect USB程序員簡化配置

l 0-10 VDC可編程電壓輸出

l 數字RS-232或RS485接口

l 穩定Zero漂移補償

l 可選的固態設定點繼電器用于過程控制

技術參數

產地：丹麥

磁滯1×10-3至10 MBAR（ISO19685：2017）：1％

滯后10至1333 MBAR（ISO19685：2017）：0.1％

模擬輸出分辨率：16位（150 µV）

模擬輸出更新率：124 Hz

響應時間（ISO 19685：2017）：<20 ms

溫度補償：+10至+50°C

固態繼電器設定點范圍：5×10-6至1333 MBAR（3.75×10-6至1000 Torr）

固態繼電器接觸評級：50 V，100 MARMS / MADC

環境條件:

操作環境溫度：-20至+50°C

介質溫度：-20至+50°C

存儲環境溫度：-40至+120°C

烘烤溫度（非操作）：+120°C

安裝位置：任意

濕度，IEC 68-2-38：98％，無調

電源:

電源電壓：12-30 VDC

功耗：240 MW（max）

反極性保護：是

電壓保護：是

內部保險絲：100 mA（可回收）

產品尺寸

產品應用

質譜儀

掃描電子顯微鏡

爐熱處理

玻璃，光學，工具等的PVD涂層

制冷服務和制造

半導體處理