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產品功能：
◆采用一套多臂氣動機械手傳動，定位精準，效率高。
◆人機界面，PLC程序控制，觸摸屏操作。
◆水系型清洗劑、DI水、IPA清洗干燥。
◆間接式導熱油加熱方式，全自動IPA檢測、滅火裝置。
◆機架及全封閉外罩HEPA高效空氣過濾器，防止二次污染。
◆采用多種清洗頻率清洗設備：40KHz、80KHz、100KHz、120KHz。
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