型號:GSL-1700X-III-F3LV
產品概述:GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認證的三溫區管式爐CVD系統,其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機械泵,混氣系統為3路浮子混氣系統。此高溫爐燒結溫度可達1700℃,真空度可達到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。
爐體結構 |
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功率 | 10KW(需要75A的空氣開關 ) |
電壓 | AC 380V 50 Hz |
加熱區 |
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爐管和法蘭尺寸 |
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溫控系統 |
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控溫精確度 | +/-1°C |
低真空系統 |
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防腐型真空計 | 其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換 |
三路浮子混氣系統 |
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尺寸 | 高溫爐: 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch) |
質保期& 質量認證 | 一年質保期. (不包括爐管加熱元件和密封圈 .) CE certified |