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產品概述:
OTF-1200X-III-RR是一套卷對卷石墨烯制備管式爐系統,設備由卷對卷銅箔收放密封裝置、1200℃三溫區管式爐、真空機組3部分組成。此設備可用于。
大面積、高質量石墨烯及其他二維材料的規模化生長。
工作電源:AC220V,50/60Hz ? 功率:5 KW ? 加熱元件:電阻絲 ? 溫度:1200℃ (使用時必須通入惰性氣體以防止爐管發生形變)(< 1h) ? 長期使用溫度:1100℃ ? 推薦升溫速率:≤ 10℃ /min ? 爐管:高純石英管:φ100*1400mm ? 總加熱區長度:600mm(150+300+150mm) ? PID控溫,具有超溫及斷偶保護 ? 控溫精度:±1℃
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500W等離子源(選配) | ? 輸出功率:50-500W可調±1% ? RF頻率: 13.56MHz,穩定性±0.005% ? 噪聲:≤ 55DB ? 冷卻:風冷 ? 輸入功率:1KW AC 220V
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三路質子流量計控制系統(選配) | ? 電壓:AC220V/50Hz ? 功率:23W ? PLC觸摸屏控制 ? 混氣罐尺寸:φ80*120mm ? 工作溫度:5~45 oC ? 壓力: 3x106 Pa ? 精度: ±1.5% FS ? 線性: ±(0.5-1.5)%F.S. ? 重復精度: ±0.2%F.S. ? 流量范圍: 一路: 1~50 SCCM (甲烷標定) 二路: 1~200 SCCM (氫氣標定) 三路: 1~200 SCCM (氬氣標定)
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真空測量單元 | ? 型號:PGC-554-LD ? 測量范圍:3.8E-5 to 1125 Torr ? 精度:5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50 1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15 100 … 950 mbar % of reading ±5 950 … 1050 mbar % of reading ±2.5
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低真空機組 (選配) | ? 由雙旋機械泵、雙層立式油霧過濾器(PE材質)、電阻真空計以及連接管道接頭等組成 ? 真空泵抽氣速率≥4.4L/s ? 極限真空度10-1Pa ? 真空計測量范圍10-1Pa-105 Pa
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卷對卷銅箔收放密封裝置 | ? 采用卷對卷收放卷機構進行銅箔的移動進出料,銅箔的移動速度為1-400mm/min可調; ? 配置一卷約2公斤重的銅箔,銅箔寬度:80mm,銅箔厚度0.025mm; ? 收放卷機構分別放置于管式爐兩端真空腔體內,保證銅箔可在密封生長條件下進行運動,實現大規模制備。 ? 真空腔室極限真空度 < 5*10-2ttor(冷態下,機械泵抽20分鐘)
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產品認證 | ? 電器元件電壓>24V的,可選擇通過UL認證 |
產品尺寸 | ? 2400*600*1400mm
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產品重量 | ? 400 kg |
質保期 | ? 一年保質期,終生維護 |