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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

KLOE 微流控芯片光刻機(jī)/曝光機(jī) UV-KUB系列

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  • 公司名稱北京燕京電子有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2024/9/27 17:29:12
  • 訪問(wèn)次數(shù)493
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北京燕京電子有限公司成立于1988年,注冊(cè)資金2124萬(wàn)元,公司位于北京城東北部酒仙橋的中關(guān)村電子城科技園區(qū)內(nèi),建筑面積2000多平方米,地理位置*,交通便利。公司成立29年以來(lái),燕京電子一貫秉承"以科技為先導(dǎo),以服務(wù)為根本"的宗旨,為科研院所和生產(chǎn)企業(yè)提供*的儀器設(shè)備及解決方案,以其良好的企業(yè)形象和品牌價(jià)值,發(fā)展成了業(yè)內(nèi)口碑好的儀器設(shè)備服務(wù)商之一。 燕京電子一直以"科技"的姿態(tài),將的儀器、技術(shù)和解決方案引入國(guó)內(nèi),并依托于公司強(qiáng)大的技術(shù)力量,為客戶創(chuàng)造價(jià)值,幫助客戶成功。目前,公司已經(jīng)形成多個(gè)產(chǎn)品系列,如電子測(cè)量?jī)x器、表面物性分析儀器、生命科 學(xué)及化學(xué)分析儀器、等離子表面處理設(shè)備等;產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域包括物理學(xué)、光學(xué)、材料科學(xué)、納米技術(shù)、環(huán)境及食品安全等領(lǐng)域;客戶覆蓋了全國(guó)各科研機(jī)構(gòu)、大 學(xué)實(shí)驗(yàn)室和企業(yè)研發(fā)機(jī)構(gòu),與他們建立了長(zhǎng)期的合作關(guān)系。 燕京電子堅(jiān)持以客戶為導(dǎo)向,強(qiáng)化服務(wù)意識(shí),提高服務(wù)質(zhì)量。公司設(shè)有市場(chǎng)部和銷售部,擁有專業(yè)的技術(shù)支持團(tuán)隊(duì)和商務(wù)操作團(tuán)隊(duì),為客戶提供專業(yè)化的售前、售中、售后服務(wù),地節(jié)約客戶的資金成本和時(shí)間成本,與客戶共同發(fā)展。公司設(shè)有獨(dú)立測(cè)試演示中心,引進(jìn)了等離子表面處理設(shè)備、鎖相放大器,信號(hào)發(fā)生器等樣機(jī),為客戶提供樣機(jī)操作演示,樣品測(cè)試和產(chǎn)品代工服務(wù),滿足客戶的需求。 北京燕京電子有限公司期待與您的真誠(chéng)合作!
法國(guó)KLOE公司在光刻方面有著豐富的經(jīng)驗(yàn),其研發(fā)的KLOE 微流控芯片光刻機(jī)/曝光機(jī) UV-KUB系列是一種基于UV LED的曝光機(jī)系統(tǒng),結(jié)構(gòu)緊湊,可以直接放置在實(shí)驗(yàn)臺(tái)上,能夠處理大直徑4英寸的晶圓,兼容硬接觸(接觸式)或者軟接觸(接近式)工藝,可自動(dòng)調(diào)整掩膜高度以適應(yīng)不同的基板厚度,可使用365 nm或405 nm的光源,不需要預(yù)熱,也不需要單獨(dú)的冷卻單元。
KLOE 微流控芯片光刻機(jī)/曝光機(jī) UV-KUB系列 產(chǎn)品信息

KLOE 微流控芯片光刻機(jī)/曝光機(jī) UV-KUB系列

圖片

 

簡(jiǎn)介

法國(guó)KLOE公司在光刻方面有著豐富的經(jīng)驗(yàn),其研發(fā)的UV- KUB系列光刻機(jī)是一種基于UV LED的曝光機(jī)系統(tǒng),結(jié)構(gòu)緊湊,可以直接放置在實(shí)驗(yàn)臺(tái)上,能夠處理大直徑4英寸的晶圓,兼容硬接觸(接觸式)或者軟接觸(接近式)工藝,可自動(dòng)調(diào)整掩膜高度以適應(yīng)不同的基板厚度,可使用365 nm或405 nm的光源,不需要預(yù)熱,也不需要單獨(dú)的冷卻單元。另外,UV-KUB系列*的設(shè)計(jì),保證了光源的準(zhǔn)直性和均勻性,其小分辨率可達(dá)2μm,大發(fā)散角小于2°

本系統(tǒng)適用于市面上常用的光刻膠,如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。

規(guī)格參數(shù)

 

功能圖解

UV-KUB 2型光刻機(jī),是市場(chǎng)上一款采用UV-LED光源系統(tǒng)的光刻機(jī),其配備了基于LED光源的光學(xué)頭,使用壽命大大提高,結(jié)構(gòu)小巧,性價(jià)比高,非常適合實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用。

UV-KUB 3是一款帶對(duì)位功能的UV-LED曝光機(jī),光源為365nm,其觸摸屏和CCD相機(jī)代替了傳統(tǒng)的顯微鏡及雙筒目鏡,控制器提供了圖像捕獲、測(cè)量以及對(duì)齊坐標(biāo)的記錄等功能,可以實(shí)現(xiàn)預(yù)對(duì)準(zhǔn),這樣,用戶再通過(guò)操作手柄便能方便的進(jìn)行終的對(duì)準(zhǔn)操作。

UV-KUB 2 

UV-KUB 3

 

應(yīng)用系統(tǒng)

微流控芯片

MEMS器件

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