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全自動高精密晶圓倒角機

參考價 1000000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱深圳市夢啟半導體裝備有限公司
  • 品       牌其他品牌
  • 型       號DL-SC150A
  • 所  在  地深圳市
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2024/9/27 14:24:46
  • 訪問次數460
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深圳市夢啟半導體裝備有限公司成立于2021年,是經深交所主板上市公司長盈精密投資控股的子公司,是一家專注于半導體產業(yè)與新能源產業(yè)的智能裝備制造企業(yè),公司主要專業(yè)從事全自動高精密晶圓減薄機、高精密晶圓拋光機、全自動高精密晶圓倒角機、晶圓研磨機、晶圓上蠟機等硬脆材料的加工裝備、以及高精度氣浮主軸部件系列產品的研發(fā)、生產和銷售。


產品廣泛應用于半導體產業(yè)和新能源產業(yè)包括但不限于太陽能電池片、LED芯片、硅片、藍寶石片、砷化鎵、氮化鎵、鉭酸鋰、鈮酸鋰等硬脆材料的加工,同時,公司也提供技術支持和售后服務,以滿足客戶的各種需求。


作為一家智能裝備制造企業(yè),深圳夢啟半導體裝備注重技術創(chuàng)新和產品質量。公司擁有一支專業(yè)的研發(fā)團隊,可以根據市場需求和客戶需求進行定制化開發(fā)。同時,公司也擁有生產設備和完善的品質管理體系,確保每一臺設備都符合客戶的期望和要求。在未來的發(fā)展中,深圳市夢啟半導體裝備有限公司將繼續(xù)致力于技術創(chuàng)新和產品質量提升,為客戶提供更優(yōu)質、更可靠的智能裝備解決方案。

 

全自動晶圓減薄機、晶圓研磨機、晶圓倒角機、CMP拋光機
1、電源供應為三相380V。
2、環(huán)境要求;無易爆易燃和腐蝕氣體;26℃恒溫無塵車間:40-85%RH。
3、氣源使用壓力為0.5Mpa-0.8 Mpa,管徑010。
4、真空負壓為-80kpa--85kpa,管徑010。
5、水源使用壓力為0.25Mpa-0.4Mpa,管徑 012。
全自動高精密晶圓倒角機 產品信息
設備優(yōu)勢

◎ 晶圓倒角單元采用側向進給磨削原理,兼容中?4'' / ?6'' / ?8''(Φ100~Φ200)晶圓倒角加工。


◎ 設備配有精密在線測量厚度儀單元和CCD視覺模組,加工時先測量產品厚度和精確定位圓心控制倒角角度。加工完后可測量直徑,真圓度,直線邊到圓心尺寸,倒角邊尺寸。


◎ 設備具有多段倒角程序、粗磨、精磨倒角功能,滿足各類工藝需求。


◎ 設備核心磨削主軸、承片主軸及視覺定位和測厚系統(tǒng)都是自主研發(fā)生產。


◎ 全自動上下料和不良品下料工位。可進行0.4mm-1.5mm厚的晶圓雙面倒角加工。


◎ 配置了觸摸式液晶顯示器,提高了操作便利性。控制畫面可同步顯示加工狀況和設備狀態(tài),操作人員只要觸摸控制畫面上的按鈕,就可以簡單地完成操作。


性能參數
參數名稱單位DL-SC150ADL-SC200A
晶圓尺寸in兼容?4''/?6''

兼容?4''/?6''/?8''

研磨方式-晶圓旋轉進給磨削
砂輪直徑mm?205金剛石砂輪?205金剛石砂輪
主軸
額定功率
KW11
額定轉速范圍RPM500~3000500~3000
Notch主軸
額定功率KW-0.5
額定轉速范圍RPM-1000~60000
產品和研磨臺定位精度um±4±4
厚度測量重復精度um±2±2
磨削精度直徑控制精度um1515
晶圓真圓度控制能力um<10<10
倒角面幅精度um<20<20
平邊/次平邊角度控制能力±0.05±0.05
設備尺寸(W x D x H)mm2000x1150x19502000x1150x1950
設備重量KG約1000約1000


關鍵詞:顯示器
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