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四氟化硅傳感器

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具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱四方光電股份有限公司
  • 品       牌四方光電
  • 型       號
  • 所  在  地武漢市
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2024/9/4 16:38:43
  • 訪問次數436
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四方光電股份有限公司(以下簡稱“四方光電”)是一家從事智能氣體傳感器和氣體分析儀器的科創板上市企業(代碼688665)。公司2003年成立于武漢“光谷”,形成了包括光學(紅外、紫外、光散射、激光拉曼)、超聲波、MEMS金屬氧化物半導體 (MOX)、電化學、陶瓷厚膜工藝高溫固體電解質等原理的氣體傳感技術平臺,擁有100余項國內外zhuanli,產品廣泛應用于空氣品質、環境監測、工業過程、安全監測、健康醫療、智慧計量等領域。

四方光電建設有省級企業技術中心和湖北省氣體分析儀器儀表工程技術研究中心。同時公司積極融入國家技術創新體系,先后獲得國家重大科學儀器設備開發專項、工信部物聯網發展專項、工信部強基工程傳感器、科技部科技助力經濟2020重點專項、湖北省技術創新重大項目等多個項目的支持,被國內外行業機構列為中國氣體傳感器主要廠商和代表性企業,并榮獲中國物聯網產業聯盟影響力物聯網傳感企業獎”。

深耕傳感器領域21年,四方光電憑借長期的技術沉淀、嚴格的質量體系及化視野,已經成為諸多世界500強及國內外細分領域頭部企業的配套供應商。目前公司產品已經出口至八十多個國家和地區,正在朝著傳感器領域的品牌邁進。











氣體傳感器,粉塵傳感器,粉塵檢測儀,粒子計數器,甲烷傳感器,可燃氣體報警器,二氧化碳傳感器,超聲波流量計,集成空氣品質傳感器,燃氣表
加工定制 輸出信號 其他
制作工藝 其他 檢測原理 NDIR
檢測氣體 SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 量程 1~264ppm(0~200mTorr)
四氟化硅傳感器是由四方光電自主研發的高性能氣體傳感器,產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協議,適合半導體行業化學沉積設備、原子層沉積設備腔室的清潔終點監測。
四氟化硅傳感器 產品信息

四氟化硅傳感器四氟化硅傳感器是由四方光電自主研發的高性能氣體傳感器,產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協議,適合半導體行業化學沉積設備、原子層沉積設備腔室的清潔終點監測。

四氟化硅傳感器四氟化硅傳感器產品特性

使用NDIR技術,多氣體監測支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

響應時間快,高靈敏度

無耗材

模擬/數字通信

模塊化設計,便于集成


四氟化硅傳感器技術參數

檢測原理NDIR
檢測氣體SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重復性±0.5%
線性±1%F.S.
檢測限1ppm




關鍵詞:傳感器
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