基本參數說明:
1.臺面為鋁合金(因為鋁合金導熱性好),尺寸為4英寸/6英寸,平面度5μm
2. 4英寸的帶3個真空吸附孔,6英寸的帶4個真空吸附孔
3.無油氣泵,7L/分鐘,可以連續工作
4.可以通水或氣體循環冷卻
5.含加熱功能,搭配日本島電儀表溫控臺,加熱溫度300攝氏度,控溫精度±1°,有效區域內溫度均衡性±5°
6.可以選配制冷功能,溫度﹣130攝氏度(真空環境下)
7.具備快速冷功能,配置水冷卻接口,可連接水冷機實現快速降溫功能!
基本參數說明:
1.臺面為鋁合金(因為鋁合金導熱性好),尺寸為4英寸/6英寸,平面度5μm
2. 4英寸的帶3個真空吸附孔,6英寸的帶4個真空吸附孔
3.無油氣泵,7L/分鐘,可以連續工作
4.可以通水或氣體循環冷卻
5.含加熱功能,搭配日本島電儀表溫控臺,加熱溫度300攝氏度,控溫精度±1°,有效區域內溫度均衡性±5°
6.可以選配制冷功能,溫度﹣130攝氏度(真空環境下)
7.具備快速冷功能,配置水冷卻接口,可連接水冷機實現快速降溫功能!
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