高低溫真空腔探針系統(tǒng)主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環(huán)境，以便測量分析溫度變化時芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件接觸空氣所帶來的測試結(jié)果誤差。

極低溫測試:

因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時，空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上，會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。

高溫無氧化測試：

當晶圓加熱至 300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現(xiàn)象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。

晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，探針座位于腔體外部，可以在不破壞真空度的同時調(diào)整探針達到理想位置進行測量。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。

技術(shù)參數(shù)：

探針平臺：

探針座采用真空室外置結(jié)構(gòu)，通過探針臂與探針實現(xiàn)同步、線性位移；探針座采用鋁制整體式結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)緊湊、承載大、精度高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點，三維調(diào)節(jié)范圍為 X、Y、Z±20mm，驅(qū)動方式為手動測微頭，驅(qū)動位置為 V 型導(dǎo)軌+交叉滾珠中心驅(qū)動，產(chǎn)品定向性能穩(wěn)定，采用精密研磨絲桿 M3*0.5 分辨率高，配合做大手輪，最小刻度 0.01mm，精度 0.001mm，直線度單軸 0.002mm，重復(fù)定位精度±2 微米，單軸直線度±2 微米，固定方式為沉孔螺釘固定。自重 1.7Kg，負載 5Kg。

探針夾具采用同軸探針夾具，接 BNC 公接頭。阻抗，50 歐姆；接頭，Coaxial BNC 公口；最小漏電流，10pA；線徑，30AWG；電壓，700V?？紤]到在做晶圓測試時是在高溫下測量，所以探針夾具連接處需采用高純陶瓷連接，這樣既可以耐高溫，也可以減少放氣量，利于高真空獲得和數(shù)據(jù)的精準性！

探針臂采用優(yōu)質(zhì) 304 不銹鋼光軸，可以有效保證探針的水平準直度和變溫環(huán)境下的剛性，減少形變造成的不良影響。探針臂移動真空密封裝置，采用壓縮比達到 1:6.5 的焊接波紋管，壓縮壽命優(yōu)于 10 萬次。保證探針臂行程的同時減少對探針座造成的負擔。

光學(xué)平臺

隔振支撐采用超薄復(fù)合材料氣囊、自定心準無摩擦球頭擺桿和帶附加擴散口的多小孔準層流阻尼技術(shù)，隔振性能良好。自動水平，自動充氣，全部氣動執(zhí)行元件采用德國 FEST0 產(chǎn)品，空氣壓縮機氣源、噪聲低。

應(yīng)用范圍：適用于對振動要求高的場所。 如光電測量、全息成像、光柵制作等。輕松 調(diào)節(jié),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠。

臺面為三層夾心蜂窩狀支撐結(jié)構(gòu)，采用 ICR17 優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁不銹鋼

平臺表面粗糙度 0.5?0.6 um

平面度 0.02 ~ 0.05 mm/m2

固有頻率 1.5 ~2 Hz

振幅小于 1 um

重復(fù)定位精度±0.10 mm

工作壓力 0.2~0.6(Mpa)

顯微鏡

1、鑒別力高，視場范圍大，景深長。

2、工作距離長至 115mm。

3、左右目鏡屈光度可調(diào)正負 5 度，能滿足不同視力的操作者觀察。

4、能隨意調(diào)節(jié)手輪的力矩，滿足不同操作者的使用習(xí)慣，更可以鎖定手輪，方便定倍觀察。

5、本顯微鏡為連續(xù)變倍，變倍比為 6.3：1 ，物鏡變倍范圍0.8X-5X。

6、雙目觀察傾斜 45 度，雙瞳距調(diào)節(jié)范圍 52-75mm。

7、三目體式顯微鏡，可安裝 CCD 成像系統(tǒng)。

8、倍率可達 200X。

產(chǎn)品優(yōu)點：

產(chǎn)品造型比較新穎

機械特性，操作舒適度高。

光學(xué)系統(tǒng)鑒別力達 300 線對以上，符合國際標準

超長的工作距離位于國內(nèi)同行

的 3A 設(shè)計

創(chuàng)見性人機學(xué)設(shè)計，產(chǎn)品細節(jié)考慮全面。

配 CCD 采用 USB 連接電腦，分辨率≦2 微米，像素≧500 萬

3A 特性：

密封性-------防塵,防油防水污染，此種接口密封性設(shè)計能安全防塵防油防水或其它污染，這就減少了常規(guī)的維護,從而降低了總的費用.

防霉性------使其同樣適用于悶熱或潮濕的環(huán)境，此的設(shè)計保證了顯微鏡在高溫或是潮濕下都能安然無恙

防靜電------防靜電設(shè)計可以釋放顯微鏡內(nèi)不斷產(chǎn)生的靜電,防止標本被損壞,保證提高產(chǎn)量和降低產(chǎn)品成本

高低溫控制系統(tǒng)

控溫系統(tǒng)采用日本島電溫控儀表配置固態(tài)繼電器、熱電偶形成閉環(huán) PID 控溫和自整定調(diào)節(jié)，智能化 30 段可編程控制，控溫精準可達到±1℃，顯示精度 1℃，溫度均勻性±3℃；加熱器 220V 供電，溫度 600℃，液氮制冷，溫度可達到-130℃。

充氣系統(tǒng)

充氣系統(tǒng)采用采用質(zhì)量流量計及控制顯示器3路，采用日本原裝品牌，提供原產(chǎn)地證明，精度1%FS，響應(yīng)時間優(yōu)于1sec；測量氣體：待定 ，量程：待定 ，數(shù)量：3路 ，連接尺寸：?6雙卡套。真空截止閥3個，連接尺寸：?6雙卡套。?52mm*L200mm混氣罐1個，接頭4個，連接尺寸：?6雙卡套。連接管路采用?6無縫B316材質(zhì)不銹鋼管。

真空系統(tǒng)

真空獲得設(shè)備（客戶自配）：抽真空機械泵采用中韓合資型號7 / 16TRP-36，9L/s抽速，自帶防返油閥門，KF25接口，KF25排氣口，配有油霧過濾器。極限真空度優(yōu)于10Pa。

真空連接管道：配置KF40手動真空擋板閥，波紋管密封，性能可靠，外觀大氣，手感好；放氣閥配置KF16手動放氣閥，體積小巧，性能可靠；所有真空管道采用不銹鋼液壓波紋管，具備很好的柔韌度，消除機械泵震動所帶給探針臺的影響。真空測量：真空測量采用全金屬KF16電阻規(guī)，配合真空計實時顯示從大氣壓到0.1Pa的真空度，外形美觀，日后維護成本低。

備品配件

贈送全套密封件 1 套，探針 10 只，探針臂陶瓷連接件 2 個。