美國Laurell ?150mm旋涂機 H6-23
勞雷爾 H6-23旋涂機 結構緊湊，功能，是安裝在手套箱中最的簡單的旋涂機。 這款 650 系列HL涂布機系統可容納直徑達? 150mm 的晶圓和 5" × 5" (127mm × 127mm) 的基板，最的大轉速為12,000 RPM（基于? 100mm 硅晶圓）。
封閉式碗狀設計，加上過程控制器的精確性，可使大多數涂層材料在靜止狀態下干燥，從而提高均勻性并最的大程度地減少顆粒污染。上部集氣室在底座內部關閉，以提供重疊密封，蓋子內部有一個特殊的排水溝，用于將流體引導到系統后部，以防止化學品意外滴落到基材上。
美國Laurell ?150mm旋涂機 H6-23
勞雷爾 H6-23旋涂機 結構緊湊，功能，是安裝在手套箱中最的簡單的旋涂機。 這款 650 系列HL涂布機系統可容納直徑達? 150mm 的晶圓和 5" × 5" (127mm × 127mm) 的基板，最的大轉速為12,000 RPM（基于? 100mm 硅晶圓）。
封閉式碗狀設計，加上過程控制器的精確性，可使大多數涂層材料在靜止狀態下干燥，從而提高均勻性并最的大程度地減少顆粒污染。上部集氣室在底座內部關閉，以提供重疊密封，蓋子內部有一個特殊的排水溝，用于將流體引導到系統后部，以防止化學品意外滴落到基材上。
