產品信息：
探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。
創譜儀器研發的高性價比手動探針臺，廣泛應用于集成電路、三極管、二極管及光電探測器的IV/CV參數等性能測試與表征，是光電科研中的基本設備。
WZH系列高溫探針臺系統包含：光學成像部分，整體升降底座，高精度探針座，溫控系統，真空吸附系統等；可應用于高溫環境下被測樣品的電學性能測試分析，如：半導體/微電子，電子，機電，物理，化學，材料，光電，納米，微機電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學研究領域，以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產制造領域。是一款功能強大的高性能探針臺。
產品特點：
★可測試Wafer尺寸：2英寸-4英寸（還可以升級更大尺寸）
★探針座和樣品整體位移，非常方便客戶對樣品進行同步光電測試
★漏電流精度：100fA，可達10fA
★精密絲杠/燕尾傳動結構，線性移動，精密位移，無回程差設計
★應用于高等院校/研究所/公司實驗室使用
★1微米以上電極/PAD使用
★模塊化設計，可以根據應用增加和去除相應模塊
★采用進口溫控系統，優異的溫度穩定性和控溫均勻性
產品應用：
◆LD/LED/PD的光強/波長測試（集成我司光電儀器）
◆材料/器件的IV/CV等特性分析測試
◆晶圓分析測試
技術參數選型：
規格/參數 | ||||
型號 | WZH-4 | |||
外形尺寸（LWH） | 600mm×600mm×450mm | |||
電力需求 | 220VC,50-60HZ | |||
樣品臺 | 尺寸 | 4寸（圓形/方形）可以定制更大樣品臺 | ||
行程 | XY軸行程50mm；Z軸行程60mm（可以增加旋轉功能） | |||
移動精度 | XY軸整體1μm；Z軸10μm | |||
背電極測試功能 | 可以引出電極 | |||
真空吸附 | 搭配進口無油真空泵，7L/min | |||
定制模塊 | 可定制位移行程和精度 | |||
溫控系統 | 溫控范圍 | 常溫-300℃（常溫-27K） | ||
控溫精度 | ±0.1℃ | |||
控溫穩定性 | ±1℃ | |||
控溫均勻性 | ±3℃ | |||
探針調整座 | XYZ行程 | 13mm-13mm-13mm | ||
機械精度 | 1μm | |||
漏電精度 | 100fA/10fA | |||
安裝方式 | 可調磁力吸附/真空吸附 | |||
接口形式 | 三同軸（Triax） | |||
光學成像 | 放大倍數 | 7-200倍（可升級到720倍） | ||
CCD像素 | 2000W | |||
中心距離 | 140mm，升降范圍270mm，總高度350mm | |||
顯示器 | 12寸顯示器，將3-17mm的樣品放大到整個屏幕（可升級大尺寸顯微鏡） | |||
可選附件 | 鍍金卡盤 | 積分球測試選件 | 屏蔽箱 | |
隔振支架 | 導入光源支架 | 波長單色可調光纖光源（測光電流） | ||
顯微鏡調節手動/電動調節裝置 | 激光切割顯微鏡 | 轉接頭配件 | ||
創譜儀器可以根據客戶應用搭建探針臺，以達到更好的使用效果和性價比 | ||||
