一、超高真空可調式插板閥概述
1.此閥門為帶步進電機的控制插板閥,在結構設計上合理,外形上美觀,并具有精度高、使用可靠、壽命長等優點,能廣泛應用于需要調節閥門的開啟度來控制流量的超高真空設備中。
2.閥門分別以步進電機傳動力矩為動力,通過傳動桿推(拉)動連桿機構,帶著驅動體沿軸向運動,驅動體通過擺桿或鋼珠與閥板連接,完成閥板開啟及關閉動作。
3.閥門作為一個節流元件動作,驅動由驅動器,步進電機和控制器來完成,其中控制器提供一個位置控制模式,它允許控制閥以選定速度在開和關的任意位置,而電源控制也可手動調節,電源控制時,為脈沖信號控制,速度快,定位準。
4.閥門的介質為空氣及非腐蝕性氣體。
二、超高真空可調式插板閥特點
軸封為波紋管密封,其它密封件為氟橡膠,無潤滑劑設計;
閥體采用不銹鋼內部焊接,漏率小;
閥體采用加強筋結構,體積小、重量輕,外形美觀;
采用雙導軌軸承滾輪機構,運動平穩;閥板整體式結構,支撐力均勻;
步進電機驅動,閥門的閥板開啟位置任意可調,可用于調節流量。
超高真空可調式插板閥(電動 )
三、超高真空可調式插板閥參數
類型: 插(閘)板閥
驅動方式: 電動
法蘭形式: CF LF ISO-F GB-LP
閥體材料: 不銹鋼
適用真空: 超高真空
適用范圍:1×10-6Pa~1.2×105Pa(蓋板氟膠圈密封)
打開時插板上的壓差:≤3×103Pa任意方向
閥體和閥座漏率:<>
保養循環次數:10,000次
閥體烘烤溫度:打開時≤200℃;關閉時≤150℃
安裝位置:任意
電源:交流220V 50Hz或直流50V以下,電流為5.5A
閥門開啟或關閉時間:可調
閥門位置指示:全關、全閉位置指示開關(微動開關),其它位置通過脈沖來控制