一、矩形超高真空插板閥概述
此系列閥門為氣動驅動方式,在結構上設計合理,外形上美觀,并具有動作平穩、沖擊振動小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優點,是半導體行業中真空設備自動化閥門之一。閥門是以壓縮空氣推動氣缸為動力,通過傳動桿推(拉)動連桿機構,帶著驅動體沿軸向運動,驅動體通過擺桿與閥板連接并帶動閥板開啟及關閉動作。閥門的介質為空氣及非腐蝕性氣體。
二、矩形超高真空插板閥特點
采用多擺桿均勻分布支撐結構,閥板受力均勻,閥門開啟沖擊振動小,噪聲低;
四滾輪支撐運動機構,動作平穩,運動噪聲小;
動密封采用波紋管密封,其它密封件為氟橡膠,密封可靠;
閥體采用不銹鋼內部焊接,漏率小;
在更小的體積上,一次性通過更多的工件,合理使用了空間。
矩形超高真空插板閥(氣動)
三、矩形超高真空插板閥參數
類型: 插(閘)板閥
驅動方式: 氣動
閥體材料: 不銹鋼
適用真空: 高真空
適用范圍::1×10-6Pa~1.2×105Pa
打開時插板上的壓差:≤2×103Pa任意方向
閥體和閥座漏率:<>
保養循環次數:10,0000次
閥體烘烤溫度:≤150℃
安裝位置:驅動體水平或垂直
電源:交流220V 50Hz 6W或直流 24V 3W(特殊規格可定做)
壓縮空氣:0.5~0.7MPa
閥門開啟或關閉時間:根據公稱通徑而定
閥門位置指示:帶有啟閉位置指示開關(磁性開關)
閥門重量:以不同公稱通徑而定