Science Probe手動/氣動插板閥
主要針對半導體行業應用,可對應設備
**主要設備**
? Evaporation
? Sputtering
? Diamond growth by MW-PACVD
? PECVD
? PVD(Cluster,Roll to Roll)
? Coating
? Etch
? Diffusion
?CVD
合作:中國臺灣Micron,UMC,AKT等;新加坡Micron,Global Foundries,UMC以及馬來西亞的英菲尼亞半導體等;日本Micron和其它的裝備,在國內,包括三星半導體在內的設備公司持續交貨階段。
可替代:瑞士VAT、美國HVA, 韓國Presys