一、產品描述
主要利用渦電流測試原理,非接觸測試半導體材料,石墨烯,透明導電膜,碳納米管,金屬等材料的電學特性。
二、主要特點
本儀器為非接觸,非損傷測試,具有測試速度快,重復性佳,測試敏感性高,可以直接測試產品片等優點。
三、核心模塊描述
產品集成方阻(電阻率)、PN型、溫度三探頭一體式測量,可廣泛用于硅片分選機、生產過程分析等光伏及半導體測量領域。本產品由如下部分組成:
1、控制主機
可實現電阻率探頭、PN探頭、溫度探頭、光纖信號的統一管理;與遠程電腦進行網絡通訊。
2、方阻(電阻率)探頭
主要利用渦電流測試原理,非接觸測試半導體材料,石墨烯,透明導電膜,碳納米管,金屬等材料的電學特性。
3、PN類型檢測探頭
利用光伏效應,通過測量由光伏效應引起的表面光電壓 (SPV), 分析半導體材料相關性質。