低溫等離子體廢氣處理技術是對中低濃度有機廢氣治理的有效辦法。具有凈化、無需添加任何物質、適應性強、低耗節能及設備組合性強等特點。該設備是依靠等離子體在瞬間產生的強大電場能量電離、裂解有害氣體的化學鍵能，從而破壞廢氣分子結構，達到凈化目的。

1. 具有一次性凈化效率高，能同時凈化多種污染物;
2. 技術反應速度快，氣體通過反應區的柳樹達到3-15米/秒，也可達到很好的處理效果。
3. 自動化程度高，設備啟動、停止十分迅速、隨用隨開，對于部分不連續產生廢氣的收集點，可以循環啟停節約成本。
4. 防火性能采用開關，電源，電路三重自動保護，持久的凈化功能，無須專人看管;
5. 設備體積小，結構緊湊，工藝成熟;
6. 設備投資少，運行成本低;
7. 安全穩定，維護方便，使用壽命長;
8. 凈化效率高，無二次污染。

該設備采用脈沖高壓高頻等離子體電源和齒板放電裝置，使其產生高強度、高濃度、高電能的活性自由基，在毫秒級的時間內，瞬間對有害廢氣分子進行氧化還原反應，將廢氣中的大部分污染物降解成二氧化碳和水及易處理的物質。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。