相關規范：《電子工業潔凈廠房設計規范》GB 50472-2008

《潔凈室施工及驗收規范》GB50591-2010

電子潔凈廠房潔凈度等級要求高,風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設計或規范受控，另外該類潔凈室對靜電要求嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內極易產生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來說，電子廠房的溫度應控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間。特殊潔凈車間有相關溫濕度規定。這時可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業潔凈室的重要組成部分。由于電子產品在制造、生產過程中對室內空氣環境和品質的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。
 

潔凈室系指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數根據需要都進行控制的密閉性較好的空間。

　　潔凈室要達到潔凈等級，必須有綜合措施，其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等。其中空氣潔凈措施是實現潔凈等級的根本保證。就空氣潔凈而言，主要有以下幾項具體措施 [1]  ：

　　（1） 對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣。因此，必須選用高效或亞高效過濾器（潔凈級別低時）作為終端過濾器，對進入潔凈室的空氣，進行*后一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命，必須使空氣先經中效過濾器進行過濾。

　　（2） 根據潔凈室的等級，合理選擇潔凈室的氣流分布流型，在工作區應避免渦流區；盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區；氣流的流動有利于潔凈室內的微粒從回風口排走。

　　（3） 有足夠的風量，既為了稀釋空氣的含塵濃度，又保證有穩定的氣流流型。

　　（4）不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應保持一定的正壓值。