等離子光氧一體機占用空間小，電子能量高，自動測試系統可以自動啟動和過程操作參數檢測系統，如果有異常等離子清洗機在操作的過程中，設備會自動停止運行，和報警顯示失敗，了等離子清洗機設備操作。

等離子光氧一體機采用全自動控制觸控板，操作簡單，溫度不高，安裝調試方便。低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的 放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。等離子光氧一體機放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。

等離子光氧一體機低溫等離子體降解污染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。等離子體反應區富含的物質，如電子、離子、自由基和激發態分子等，廢氣中的污染物質可與這些具有較量的物質發生反應，使污染物質在的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到講解污染物的目的。

等離子光氧一體機與傳統的電暈放電形勢產生的低溫等離子技術相比較，等離子光氧一體機技術放電量是電暈放電的50倍，放電密度是電暈放電的130倍。所以，傳統低溫等離子體技術只能用于室內空氣異味治理，與其他低溫等離子體技術相比較，等離子光氧一體機技術是用于工業化工藝廢氣治理的技術。