相關(guān)規(guī)范：《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50472-2008

《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》GB50591-2010

電子潔凈廠房潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控，另外該類潔凈室對(duì)靜電要求嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來(lái)說(shuō)，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在50-60%之間。特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定。這時(shí)可有效地消除靜電，并使人也感覺(jué)舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無(wú)塵室和磁盤(pán)制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分。由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格，主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象，同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。
 

潔凈室系指對(duì)空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進(jìn)行控制的密閉性較好的空間。

　　潔凈室要達(dá)到潔凈等級(jí)，必須有綜合措施，其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構(gòu)造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護(hù)管理等。其中空氣潔凈措施是實(shí)現(xiàn)潔凈等級(jí)的根本保證。就空氣潔凈而言，主要有以下幾項(xiàng)具體措施 [1]  ：

　　（1） 對(duì)潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。因此，必須選用高效或亞高效過(guò)濾器（潔凈級(jí)別低時(shí)）作為終端過(guò)濾器，對(duì)進(jìn)入潔凈室的空氣，進(jìn)行*后一級(jí)過(guò)濾。為保護(hù)終端過(guò)濾器和延長(zhǎng)其壽命，必須使空氣先經(jīng)中效過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾。

　　（2） 根據(jù)潔凈室的等級(jí)，合理選擇潔凈室的氣流分布流型，在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū)；盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達(dá)工作區(qū)；氣流的流動(dòng)有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風(fēng)口排走。

　　（3） 有足夠的風(fēng)量，既為了稀釋空氣的含塵濃度，又保證有穩(wěn)定的氣流流型。

　　（4）不同等級(jí)的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應(yīng)保持一定的正壓值。