-倒角部分：
倒角部分安裝了風(fēng)琴罩的方式，防止倒角加工時(shí)水滴飛濺。
-控制系統(tǒng)：
采用穩(wěn)定高效控制系統(tǒng)和精密級(jí)執(zhí)行機(jī)構(gòu)。
| 基本規(guī)格 | ||
| 硅片尺寸 | φ5″，φ6″，φ8″ | |
| 硅片厚度 | 0.4-1.0mm | |
| 硅片類型 | 1OF、2OF、notch(選配） | |
| 研磨單元 | 2個(gè) | |
| 外周研削 | ||
| 砂輪外徑 | φ202mm | |
| 砂輪安裝內(nèi)徑 | φ30mm | |
| 砂輪厚度 | 20mm | |
| 主軸轉(zhuǎn)速 | 5000rpm | |
| notch研削（選配） | ||
| 砂輪外徑 | φ3.8mm | |
| 砂輪安裝內(nèi)徑 | φ3mm | |
| 主軸轉(zhuǎn)速 | 140000-160000rpm | |
| 設(shè)備功能及參數(shù) | ||
| 設(shè)備外形尺寸 | 2130（長(zhǎng))*1500(寬)*2100(高)mm | |
| 設(shè)備重量 | 3噸 | |
| 報(bào)警燈 | 三色指示燈 | |
| 操作面板 | 12寸工控一體機(jī) | |
| 研磨速度 | 外周、OF 和 notch 可單獨(dú)設(shè)置 | |
| 研磨臺(tái)X軸、Y軸、Z軸 | 驅(qū)動(dòng)方式 | 伺服電機(jī) |
| 定位精度 | 1μm | |
| 研磨臺(tái)θ軸 | 驅(qū)動(dòng)方式 | DD馬達(dá) |
| 定位精度 | 0.01° | |
| 傳送單元 | 取片方式 | 吸附取片（上表面） |
| 清洗單元 | 清洗方式 | 甩干清洗 |
| 干燥方式 | 干燥空氣 | |
| 上下料單元 | 類型 | 片盒 |
| 片盒數(shù)量 | 4個(gè) | |
| 測(cè)量單元規(guī)格 | ||
| 硅片厚度測(cè)量 | 最小單位 | ±1μm |
| 測(cè)量重復(fù)精度 | ± 2μm | |
| 厚度測(cè)量方式 | 接觸式或非接觸式（選配） | |
| 偏心調(diào)整單元 | 類型 | 激光方式 |
| 測(cè)量精度 | 10μm | |
| 偏心調(diào)整精度 | ±50μm | |
-通過(guò)緊湊的設(shè)計(jì)提高空間效率
-高精度研磨
-通過(guò)觸控面板輕松操作
-測(cè)量磨削結(jié)果并自動(dòng)校正
