1、主要特點：

•  數字化系統協同設計、MEMS工藝制造

•  諧振工作原理健壯、本征數字輸出信號

•  振子真空微囊包裹結構、高Q值長期穩定

•  差頻工作模式、分辨率和靈敏度高

•  適于表壓、絕壓、差壓高精度測量

•  覆蓋低、中、高寬壓力量程范圍

2、主要性能技術指標

序號	項目	規格指標		備注
1	壓力類型	表壓、差壓	絕壓	絕壓
	基準壓力量程	0～1kPa、2kPa、3kPa、6kPa、10kPa、20kPa、30kPa、60kPa、100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、6MPa、10MPa	100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、 6MPa、10MPa、20MPa、20MPa、40MPa、60MPa	1*
2	過載能力	≥3倍基準量程（≤10MPa）；≥1. 5倍基準量程（＞10MPa）；≥1. 25倍基準量程（≥60MPa）		1*
	被測介質	與金屬、單晶硅、玻璃兼容的非腐蝕性、絕緣氣體和液體
3	激勵電源	5～24 Vdc
4	準確度	≤ ±0.05%FS，≤ ±0.02%FS，≤ ±0.01%FS		2*、3*
5	工作溫度范圍	-55～+125℃
6	補償溫度范圍	－55～＋85℃
7	典型工作頻率	30～50kHz		2*
8	靈敏度	2～15Hz/hPa		2*
9	Q值	＞20000
10	長期穩定性	±0.02%FS/年		2*、
11	電流消耗	3.5mA
12	絕緣電阻	>100MW		8*
13	電氣連接模式	接插件、多芯線纜
14	測量接口形式	螺紋、法蘭		6*

注：1^*. 可用戶定制；

      2^*. 5VDC恒壓激勵，恒溫25℃； 

      3^*.非線性數據計算為最小二乘法；

      4^*. 100VDC。

注：可提供定制服務，如有需求請與營銷人員聯系。