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3軸機(jī)械臂3軸圓柱坐標(biāo)潔凈晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司
品牌
型號(hào)
所在地上海
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2024/6/19 9:15:06
訪問(wèn)次數(shù)149

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司成立于1999年11月，總部設(shè)于上海, 在深圳，香港，東京，河內(nèi)設(shè)立有分公司。公司一直致力于引進(jìn)技術(shù)、制造設(shè)備、精密檢測(cè)儀器、關(guān)鍵生產(chǎn)材料，為中國(guó)電子制造企業(yè)服務(wù)。經(jīng)過(guò)二十多年的發(fā)展，公司通過(guò)收購(gòu)合并已發(fā)展為具有自主工業(yè)軟件設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)，高精密裝置的設(shè)計(jì)及制造裝配能力的跨國(guó)企業(yè)集團(tuán)。服務(wù)于新能源汽車制造、半導(dǎo)體生產(chǎn)、5G通訊制造，航空航天，智慧醫(yī)療，自動(dòng)化工業(yè)控制等細(xì)分行業(yè)。如今我們正不斷努力，希望通過(guò)*高效的生產(chǎn)技術(shù)與設(shè)備，幫助您提高生產(chǎn)效率，降低能耗，保護(hù)環(huán)境。與您攜手營(yíng)造綠色地球，共創(chuàng)美好未來(lái)。

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3軸圓柱坐標(biāo)潔凈晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂特點(diǎn)：超潔凈無(wú)塵間用300mm晶圓對(duì)應(yīng)MCR3000C系列適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部

3軸機(jī)械臂3軸圓柱坐標(biāo)潔凈晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂產(chǎn)品信息

3軸圓柱坐標(biāo)潔凈晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂特點(diǎn)：

超潔凈無(wú)塵間用300mm晶圓對(duì)應(yīng)MCR3000C系列

適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)

全軸采用AC伺服電機(jī)滿足高速搬送的需求

比MHR系列具有更好的性價(jià)比優(yōu)勢(shì)

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng):160mm, 200mm

適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式

配備動(dòng)作監(jiān)視器

控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式

全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)

S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓

晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式

手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)

可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類，設(shè)備布局等要求提供的手指

3軸圓柱坐標(biāo)潔凈晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂基本參數(shù)：

使用環(huán)境	潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂	單臂
到達(dá)距離	400mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
升降軸行程	300mm / 400mm / 500mm
可搬運(yùn)質(zhì)量	4kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))