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廣電計量檢測集團股份有限公司

OKAMOTO GNX200BP晶圓研磨

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 更新時間2024/6/16 9:33:50
  • 訪問次數(shù)118
產(chǎn)品標簽:

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衡鵬企業(yè)成立于1999年11月,總部設(shè)于上海,系專業(yè)化、集成化的電子行業(yè)綜合服務(wù)性企業(yè)。公司依托于電子產(chǎn)品制造業(yè)的發(fā)展,已在市場中建立起良好的商譽和廣泛的商業(yè)資源。近年來,隨著市場的日漸成熟和業(yè)務(wù)的不斷發(fā)展,公司的業(yè)務(wù)已經(jīng)遍布中國大陸以及香港、中國臺灣市場,深得廣大電子產(chǎn)品制造商的青睞。本公司將在緊緊跟隨信息時代的步伐,不斷為客戶提供各種優(yōu)質(zhì)的電子材料及相關(guān)設(shè)備,擴大*,壯大自身的同時,充分利用自身優(yōu)勢,不斷提升自身的服務(wù)理念,致力于為客戶提供更多元化、系統(tǒng)化的技術(shù)支持及技術(shù)服務(wù),進一步建立穩(wěn)固的銷售網(wǎng)絡(luò),從而將公司發(fā)展成為中國*電子行業(yè)中的企業(yè)。

TAMURA田村錫膏、助焊劑;Malcom馬康SMT周邊設(shè)備儀器;GOOT固特SMT電烙鐵及電焊臺等
OKAMOTOGNX200BP晶圓研磨/晶圓減薄特點:GNX200BP是一款持續(xù)向下進給式減薄設(shè)備,采用機械臂傳送硅片,減薄完成后,有兩個獨立的清洗腔,清洗效果更佳
OKAMOTO GNX200BP晶圓研磨 產(chǎn)品信息

OKAMOTO GNX200BP晶圓研磨/晶圓減薄特點:


GNX200BP是一款持續(xù)向下進給式減薄設(shè)備,采用機械臂傳送硅片,減薄完成后,有兩個獨立的清洗腔,清洗效果更佳。工作盤轉(zhuǎn)速、主軸轉(zhuǎn)速、主軸下壓速度都可調(diào),有助于平衡產(chǎn)量、減薄品質(zhì)、磨輪壽命。采用兩點式實時測厚儀測量主軸1和主軸2下的硅片厚度,采用3點測控主軸角度調(diào)整機構(gòu)來控制加工的平整度(TTV)。減薄工序完成后,硅片即會被自動傳送的拋光腔,經(jīng)過拋光工序,去除硅片表面損傷,提高晶圓強度,可以加工50μm的晶圓。



OKAMOTO GNX200BP晶圓研磨/晶圓減薄規(guī)格參數(shù):


支持wafer尺寸

8英寸

主軸形式

空氣主軸,3600rpm

主軸驅(qū)動電機功率

2.2kW/4kW

磨輪直徑           

250mm

工作臺數(shù)量

3個工作臺

工作臺形式

機械軸(標配)承或空氣軸承(選配)

工作臺轉(zhuǎn)速

1-600rpm

測厚機構(gòu)

2點接觸式測厚機構(gòu)

測厚精度

1um

測厚范圍

0-1.2mm

料盒數(shù)量

每個工作單元(減薄&拋光)各2個料盒

拋光機構(gòu)功率

3kW 交流伺服電機(0-460rpm)

拋光波速100-8000mm/min
拋光壓力50-999g/cm2
拋光磨輪尺寸200mm
拋光臺轉(zhuǎn)速50-200rpm
真空盤材質(zhì)氧化鋁邊框+陶瓷氣孔盤
自潔方式水沖+刷洗


15700106413
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