防水3軸圓柱坐標型機械晶圓搬運機械手臂特點： |
防水3軸圓柱坐標型機械手臂SWCR3000系列（配備300mm晶圓翻轉機構+邊緣夾持機構） |
在保護等級IP64 LSI半導體生產工藝條件下，能夠在酸性，堿性環境下搬運半導體晶圓 |
手臂部分采用特氟龍鍍層保證耐腐蝕性 |
手臂關節部位防水結構使用V型密封圈 |
零件之間的結合面采用Viton材質的密封條 |
Z軸的防水結構可以使用蛇腹管 |
配備動作監視器 |
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 |
全軸采用2相步進電機 |
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓 |
晶圓固定方式: 真空吸附式，下托式，邊緣夾持式 |
可以針對搬運物體，客戶設備布局的實際情況提供的手指 |
防水3軸圓柱坐標型機械晶圓搬運機械手臂基本參數： |
使用環境 | 潔凈間內的大氣環境 |
手臂 | 單臂 |
到達距離 | 312mm (手臂第3關節中心到達距離) |
升降軸行程 | 200mm / 300mm |
可搬運質量 | 3kg以下 (手臂第3關節處基準) |
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