帶翻轉機構的4軸圓柱坐標潔凈機械手臂特點: |
使用了JEL制造的伯努利原理機械手指,可吸附減薄晶圓 |
具有較高的剛性,手臂的第三關節可以承受3kg的負載(包括手指和搬運物) |
采用了步進電機驅動,能夠有效地降低耗電量有利于節能 |
雙機械手指結構,能夠縮短晶圓的交換時間 |
雙臂帶翻轉機構的 |
可以根據客戶設備的布局,選擇法蘭固定方式或者底座固定方式 |
帶翻轉機構的4軸圓柱坐標潔凈機械手臂基本參數: |
使用環境 | 潔凈間內的大氣環境 |
手臂 | 雙臂 |
到達距離 | 315mm (手臂第3關節中心到達距離) |
升降軸行程 | 200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm |
可搬運質量 | 3kg (手臂第3關節處基準) |
如需詳細產品參數 請聯系我們