小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂特點： |
超潔凈無塵間用2軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SSCR3090S系列 |
適用于半導體生產設備內部，檢測設備等小尺寸晶圓的搬運，通過優化機械手臂的空間尺寸， 有利于實現設備的小型化 |
機械手臂標準臂長：90mm |
同SSCR2090S-PM兼容，連桿式手臂，可以定制沒有Z軸模塊的機械手臂 |
配備動作監視器 |
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 |
全軸使用2相步進電機 |
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓 |
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式 |
手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質 |
可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供的手指 |
小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂基本參數： |
使用環境 | 潔凈間內的大氣環境 |
手臂 | 單臂 |
到達距離 | 175mm (手臂第3關節中心到達距離) |
升降軸行程 | 150mm |
可搬運質量 | 0.1kg (只包含被搬運物體)(手臂第3關節處基準) |
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