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廣電計(jì)量檢測集團(tuán)股份有限公司

OKAMOTO GNX200BP晶圓研磨

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2024/6/12 9:25:54
  • 訪問次數(shù)118
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司成立于1999年11月,總部設(shè)于上海, 在深圳,香港,東京,河內(nèi)設(shè)立有分公司。公司一直致力于引進(jìn)技術(shù)、制造設(shè)備、精密檢測儀器、關(guān)鍵生產(chǎn)材料,為中國電子制造企業(yè)服務(wù)。經(jīng)過二十多年的發(fā)展,公司通過收購合并已發(fā)展為具有自主工業(yè)軟件設(shè)計(jì)開發(fā),高精密裝置的設(shè)計(jì)及制造裝配能力的跨國企業(yè)集團(tuán)。服務(wù)于新能源汽車制造、半導(dǎo)體生產(chǎn)、5G通訊制造,航空航天,智慧醫(yī)療,自動化工業(yè)控制等細(xì)分行業(yè)。如今我們正不斷努力,希望通過*高效的生產(chǎn)技術(shù)與設(shè)備,幫助您提高生產(chǎn)效率,降低能耗,保護(hù)環(huán)境。與您攜手營造綠色地球,共創(chuàng)美好未來。
OKAMOTOGNX200BP晶圓研磨/晶圓減薄特點(diǎn):GNX200BP是一款持續(xù)向下進(jìn)給式減薄設(shè)備,采用機(jī)械臂傳送硅片,減薄完成后,有兩個獨(dú)立的清洗腔,清洗效果更佳
OKAMOTO GNX200BP晶圓研磨 產(chǎn)品信息

OKAMOTO GNX200BP晶圓研磨/晶圓減薄特點(diǎn):


GNX200BP是一款持續(xù)向下進(jìn)給式減薄設(shè)備,采用機(jī)械臂傳送硅片,減薄完成后,有兩個獨(dú)立的清洗腔,清洗效果更佳。工作盤轉(zhuǎn)速、主軸轉(zhuǎn)速、主軸下壓速度都可調(diào),有助于平衡產(chǎn)量、減薄品質(zhì)、磨輪壽命。采用兩點(diǎn)式實(shí)時測厚儀測量主軸1和主軸2下的硅片厚度,采用3點(diǎn)測控主軸角度調(diào)整機(jī)構(gòu)來控制加工的平整度(TTV)。減薄工序完成后,硅片即會被自動傳送的拋光腔,經(jīng)過拋光工序,去除硅片表面損傷,提高晶圓強(qiáng)度,可以加工50μm的晶圓。



OKAMOTO GNX200BP晶圓研磨/晶圓減薄規(guī)格參數(shù):


支持wafer尺寸

8英寸

主軸形式

空氣主軸,3600rpm

主軸驅(qū)動電機(jī)功率

2.2kW/4kW

磨輪直徑           

250mm

工作臺數(shù)量

3個工作臺

工作臺形式

機(jī)械軸(標(biāo)配)承或空氣軸承(選配)

工作臺轉(zhuǎn)速

1-600rpm

測厚機(jī)構(gòu)

2點(diǎn)接觸式測厚機(jī)構(gòu)

測厚精度

1um

測厚范圍

0-1.2mm

料盒數(shù)量

每個工作單元(減薄&拋光)各2個料盒

拋光機(jī)構(gòu)功率

3kW 交流伺服電機(jī)(0-460rpm)

拋光波速100-8000mm/min
拋光壓力50-999g/cm2
拋光磨輪尺寸200mm
拋光臺轉(zhuǎn)速50-200rpm
真空盤材質(zhì)氧化鋁邊框+陶瓷氣孔盤
自潔方式水沖+刷洗


15700106413
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