真空3軸圓柱坐標型機械手臂特點： |
真空3軸圓柱坐標型機械手臂SVCR3000系。適用于真空腔室內的晶圓搬運 |
相比SVHR系列機械手臂，可搬運質量提升2倍，具有較好的性價比優勢 |
另外還保持了和SVHR系列機械手臂的兼容性，方便客戶對設備進行升級改造 |
機械手臂標準臂長:160mm, 190mm, 260mm, 330mm |
手臂關節處使用磁流體密封裝置 |
真空密封：磁流體密封裝置和波紋管 |
提高潔凈度的方法：手臂內部排氣口安裝5µm級過濾器 |
配備動作監視器 |
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 |
全軸采用2相步進電機 |
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓 |
可以選配2相步進電機規格 |
手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質 |
晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式 |
可以針對搬運物體，客戶設備布局的實際情況提供的手指 |
真空3軸圓柱坐標型機械手臂基本參數： |
使用環境 | 真空部：溫度 15℃～50℃ 驅動結構內部：潔凈間內的大氣環境 溫度 15℃～40℃ |
手臂 | 單臂 |
到達距離 | 520mm (手臂第3關節中心到達距離) |
升降軸行程 | 20mm / 40mm |
可搬運質量 | 2kg (手臂第3關節處基準) |
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