帶翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂特點(diǎn): |
使用了JEL制造的伯努利原理機(jī)械手指,可吸附減薄晶圓 |
具有較高的剛性,手臂的第三關(guān)節(jié)可以承受3kg的負(fù)載(包括手指和搬運(yùn)物) |
采用了步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng),能夠有效地降低耗電量有利于節(jié)能 |
雙機(jī)械手指結(jié)構(gòu),能夠縮短晶圓的交換時(shí)間 |
雙臂帶翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的 |
可以根據(jù)客戶設(shè)備的布局,選擇法蘭固定方式或者底座固定方式 |
帶翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂基本參數(shù): |
使用環(huán)境 | 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境 |
手臂 | 雙臂 |
到達(dá)距離 | 315mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離) |
升降軸行程 | 200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm |
可搬運(yùn)質(zhì)量 | 3kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)) |
如需詳細(xì)產(chǎn)品參數(shù) 請(qǐng)聯(lián)系我們