4軸水平多關節型潔凈機械手臂特點： |
超潔凈間用多軸型, 4軸水平多關節型清潔機械手GCR4000-AM系列 |
適用于支持300mm的半導體制造裝置內, 檢查裝置等的晶圓搬運 |
機械手臂標準臂長:210mm, 280mm |
機械手臂可以單獨對應2個FOUP |
適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式 |
配備動作監視器 |
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 |
全軸采用值編碼器規格的AC伺服電機 |
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運玻璃基板 |
AC伺服電機的采用以及，對運動軌跡的優化實現了搬運動作的高速化 |
比GHR4000類型速度快了1.8倍 |
晶圓固定方式：真空吸附式, 下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式 |
手指材質：CFRP（碳纖維), 鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質 |
可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供的手指 |
4軸水平多關節型潔凈機械手臂基本參數： |
使用環境 | 潔凈間內的大氣環境 |
手臂 | 單臂 |
到達距離 | 400mm (手臂第3關節中心到達距離) |
升降軸行程 | 300mm / 400mm / 500mm |
可搬運質量 | 4kg (手臂第3關節處基準) |
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