真空3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂特點(diǎn)： |
真空3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂SVCR3000系。適用于真空腔室內(nèi)的晶圓搬運(yùn) |
相比SVHR系列機(jī)械手臂，可搬運(yùn)質(zhì)量提升2倍，具有較好的性價(jià)比優(yōu)勢(shì) |
另外還保持了和SVHR系列機(jī)械手臂的兼容性，方便客戶對(duì)設(shè)備進(jìn)行升級(jí)改造 |
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng):160mm, 190mm, 260mm, 330mm |
手臂關(guān)節(jié)處使用磁流體密封裝置 |
真空密封：磁流體密封裝置和波紋管 |
提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝5µm級(jí)過濾器 |
配備動(dòng)作監(jiān)視器 |
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 |
全軸采用2相步進(jìn)電機(jī) |
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓 |
可以選配2相步進(jìn)電機(jī)規(guī)格 |
手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) |
晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式 |
可以針對(duì)搬運(yùn)物體，客戶設(shè)備布局的實(shí)際情況提供的手指 |
真空3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂基本參數(shù)： |
使用環(huán)境 | 真空部：溫度 15℃～50℃ 驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)內(nèi)部：潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境 溫度 15℃～40℃ |
手臂 | 單臂 |
到達(dá)距離 | 520mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離) |
升降軸行程 | 20mm / 40mm |
可搬運(yùn)質(zhì)量 | 2kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)) |
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