小徑晶圓用4軸圓柱坐標潔凈機械手臂特點： |
適用于超級潔凈間要求的3軸圓柱坐標潔凈機械手臂SCR3100S系列 |
適用于半導體生產設備內部，檢測設備等小尺寸晶圓的搬運，通過優化機械手臂的空間尺寸， 有利于實現設備的小型化 |
提高潔凈度的方法：手臂內部排氣口安裝0.1µm級過濾器 |
適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式 |
配備動作監視器 |
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 |
全軸采用2相步進電機 |
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓 |
晶圓固定方式: 真空吸附式，下托式，邊緣夾持式 |
手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質 |
可以針對搬運物體，客戶設備布局的實際情況提供的手指 |
小徑晶圓用4軸圓柱坐標潔凈機械手臂基本參數： |
使用環境 | 潔凈間內的大氣環境 |
手臂 | 單臂 |
到達距離 | 195mm (手臂第3關節中心到達距離) |
升降軸行程 | 200mm / 300mm |
可搬運質量 | 0.5kg (手臂第3關節處基準) |
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