AMC監(jiān)測(cè)空氣分子污染物系統(tǒng)介紹:
醋酸、草酸 、胺類、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、六甲基二硅胺烷(HMDS)、鄰苯二甲酸二辛酯(DOP)、鄰苯二甲酸二丁酯(DBP)、鄰苯二甲酸二乙酯(DEP)、異丙醇、丙酮、硼酸*酯、二甲苯、磷酸三乙酯---等其他有機(jī)物
空氣分子污染物 (AMC) 對(duì)于高科技生產(chǎn)過(guò)程是關(guān)鍵性因素,特別是微電子行業(yè),有機(jī)污染物是生產(chǎn)過(guò)程中的消極因素,會(huì)導(dǎo)致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題而產(chǎn)生的成本增加。
AMC監(jiān)測(cè)空氣分子污染物系統(tǒng)產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
檢測(cè)限達(dá)到sub-ppb級(jí)
潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC,內(nèi)部來(lái)自建筑材料釋出、設(shè)備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過(guò)程中化學(xué)藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設(shè)備維護(hù)修理時(shí)散發(fā)等,外部來(lái)自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物,以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。
一旦AMC空氣分子污染物超標(biāo)會(huì)引起一系列嚴(yán)重后果,比如晶圓廢棄、停產(chǎn)、重新凈化潔凈室等。
空氣分子污染物問(wèn)題:從潔凈間到生產(chǎn)機(jī)臺(tái)加工
隨著IC產(chǎn)品生產(chǎn)成本的增加,空氣分子污染物AMC的監(jiān)測(cè)變得越來(lái)越重要。
污染物從加工到超凈間的擴(kuò)散,并且成份的增加,分子污染物來(lái)自多個(gè)源頭,比如生產(chǎn)化學(xué)藥劑、建筑材料、潔凈間設(shè)備裝置、操作人員等。
µ-VOC 系統(tǒng)意味著潛在鑒別空氣分子污染物與產(chǎn)生污染問(wèn)題和減少污染問(wèn)題之間的關(guān)聯(lián),完整的全量程全組份實(shí)時(shí)sub-ppb級(jí)測(cè)量,提供早期AMC監(jiān)測(cè)和快速確定這些污染問(wèn)題的原因。