5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂特點： |
5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂GTVCR5000系列 |
實現了下降價格，但是也可以維持以前的GTVHR5000系統的機能，功能 |
能夠在真空環境下對應并排擺放的腔室工作臺布局，能夠靈活地適應不同類型設備的多種布局 |
通過優化機械手臂的空間尺寸，有利于減小真空腔室的內部容積 |
非常適合inline設備 |
機械手臂標準臂長：280mm, 330mm |
手臂關節處使用磁流體密封裝置 |
真空密封：磁流體密封裝置以及波紋管 |
提高潔凈度的方法：手臂內部排氣口安裝5µm級過濾器 |
雙手指機構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間 |
配備動作監視器 |
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 |
全軸采用值編碼器規格的AC伺服電機 |
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓 |
手指材質：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質 |
晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式，利用O型膠圈的摩擦力來保持位置 |
可以針對搬運物體，客戶設備布局的實際情況提供的手指 |
5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂基本參數： |
使用環境 | 潔凈間內的大氣：溫度 15°C-40°C |
工藝室溫度 | 450°C |
手臂 | 單臂 |
到達距離 | 635mm (手臂第3關節中心基準) |
升降軸行程 | 60mm |
可搬運質量 | 4kg (手臂第3關節處基準) |
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