ADT全自動雙軸12寸切割機8230概要： |
ADT 8230是一款高效率、高精度、高性能、低成本的雙軸(對向)全自動晶圓切割機。
切割工件尺寸可達12英寸。
ADT全自動雙軸12寸切割機8230特點： |
靈活性-支持3英寸刀片 |
支持1.8KW或2.2KW大功率主軸(適用于更高要求的切割) |
使用17英寸觸摸顯示屏，操作界面直觀 |
ADT全自動雙軸12寸切割機8230其它重要特點： |
切割效率高-大幅降低使用成本 |
空氣主軸 |
快速自動對齊及切割定位，提高切割效率 |
高精度的自動刀痕檢測及切割質量分析 |
切割過程數據記錄和統計分析 |
更換刀片時鎖定主軸，操作更快速、簡便 |
SECS/GEM通信標準 |
機器維護時可觸及系統的任何區域，帶來維護的便利性 |
ADT全自動雙軸12寸切割機8230規格： |
工作盤尺寸 | φ300mm | |||
X軸 | 切割范圍 | 310mm | ||
進刀速度輸入范圍 | 0.1-600mm/s | |||
Y1&Y2軸 | 切割范圍 | 310mm | ||
單步步進量 | 0.0001mm | |||
定位精度 | Within 0.002/310 mm （Single step accuracy）within 0.002/5 | |||
Z軸 | 行程 | 30mm（對應2英寸刀片） | ||
移動分辨率 | 0.0001mm | |||
重復精度 | 0.001mm | |||
θ軸 | 旋轉角度 | 380deg | ||
主軸 | 主軸類型 | 對向式雙主軸 | ||
額定扭矩 | 0.33（1.8kw）N.m | |||
回轉速 | 6,000 ～60,000(1.8KW)min-1 | |||
刀片尺寸 | 2" | |||
視覺系統 | 1倍和8倍高清光學相機 相機光源：LED（直光 & 斜光） | |||
尺寸（W×D×H） | 1220 × 1550 × 1850 mm | |||
重量 | Approx 2000kg | |||
