光電流測試探針臺
特點:
滿足I-V/C-V,PIV測試,光電測試
可用于6英寸以內樣品測試
可放置于手套箱內使用
形狀輕巧,操作方便
臺體規格:
尺寸:4英寸/6英寸
水平旋轉:可360度旋轉,可微調15度,精度0.1度,帶角度鎖死裝置
X-Y移動行程:2英寸*3英寸
X-Y移動精度:10微米
樣品臺Z軸調節:可升降10mm
樣品固定:真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環
針座平臺:左右各一個針座平臺,可放置2-6個探針座
背電極測試:樣品臺電學獨立懸空,4mm插孔可接背電極
光學系統:
顯微鏡類型:單筒顯微鏡/體式顯微鏡
放大倍率:16X-200X
移動行程:水平方向繞立柱360度旋轉,Z軸50.8mm
光源:外置LED無極調節亮度環形光源
CCD:200萬像素/500萬像素/1200萬像素
定位器:
X-Y-Z移動行程:12mm*12mm*12mm
移動精度:10微米/2微米/0.7微米/0.5微米
吸附方式:磁力吸附/真空吸附
線纜:同軸線/三軸線
漏電精度:10pA/100fA/10fA
固定探針:彈簧固定/管狀固定
接頭類型:BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子
針尖直徑:0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
針尖材質:鎢鋼/鈹銅
可選附件:
加熱臺;顯示器;轉接頭;射頻測試配件;屏蔽箱;光學平臺
鍍金卡盤;光電測試配件
根據要求定制,咨詢: