全自動晶圓磨邊機(jī)為晶圓倒角、晶圓磨邊、鍵合片晶圓層階倒角的專用設(shè)備,利用精密砂輪對晶圓進(jìn)行研磨整形加工。適用于2″- 6″晶圓、4″- 8″晶圓、8″-12″晶圓
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適用于晶圓倒角、晶圓磨邊及層階倒角加工
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機(jī)械臂自動上下料,全自動生產(chǎn)
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可加工參考邊型晶圓及Notch型晶圓
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自動進(jìn)行粗研及精研加工
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可自動檢測晶圓直徑
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配備晶圓清洗功能
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配備晶圓干燥功能
可選配SECS/GEM與MES系統(tǒng)聯(lián)接