產(chǎn)品介紹：
微電子應(yīng)用激光器（SE-Version）: 半導(dǎo)體加工，掩模檢查，微光刻和計(jì)量激光器，滿足CE標(biāo)志和SEMI S2標(biāo)準(zhǔn)。 所有半導(dǎo)體采用全金屬/陶瓷技術(shù)，以最小的服務(wù)實(shí)現(xiàn)最長的激光壽命。比標(biāo)準(zhǔn)的， SE型具有潔凈室封裝，長的腔室壽命和更長的氣體壽命。
產(chǎn)品參數(shù)：
參數(shù) | F2 | ArF | KrF | XeCl | XeF |
波長 nm | 157 | 193 | 248 | 308 | 351 |
能量.mJ | 3 | 20 | 35 | 15 | 15 |
能量控制范圍，mJ | 1~3 | 5~20 | 10~35 | 7~15 | 7~15 |
穩(wěn)定能量 200Hz | 2.5 | 15 | 30 | 15 | 12 |
平均功率 W 300/600 | 0.6/1.2 | 4/7 | 6/12 | 3/6 | 3/6 |
穩(wěn)定性標(biāo)準(zhǔn)偏差 | <1% 重復(fù)頻率 | ||||
重復(fù)率，Hz | 300/600/1000 | ||||
動態(tài)態(tài)氣體壽命 | 2.00E+08 | 2.00E+08 | 5.00E+08 | 1.00E+08 | 3.00E+08 |
靜態(tài)氣體壽命 50%能量 | 15days | 60days | 90days | >1year | 90days |
脈沖長度，ns | 12~15 | ||||
光束尺寸，ns | 5×3 | 8×3 | |||
發(fā)散，mrad全角 | 1×2 | ||||
冷卻方式 | 風(fēng)冷 | ||||
光學(xué)服務(wù) | 5.00E+08 | 3.00E+08 | 1.00E+09 | 1.00E+08 | 3.00E+08 |
注：如需詳細(xì)規(guī)格參數(shù)資料，或有其他要求，請聯(lián)系我們。
主要應(yīng)用：
替代激光器
電離源
微加工
精確標(biāo)記
屈光手術(shù)
拉曼光譜
