Veritas鎢燈絲掃描電鏡系列
Veritas系列保持EM科特(EmCrafts)電子顯微鏡的高性能高效率,大樣品倉內含5軸共心電動樣品臺,可更輕松地測量大尺寸樣品。
工作原理:
通過對電子槍內的鎢燈絲加高電壓,使電子槍處于熱激發狀態,在陽極作用下,處于熱激發的電子槍就可以激發出電子束。經過掃描線圈磁場的控制,電子束在樣品表面逐點掃描,激發出二次電子、背散射電子等物理信號,經探測器收集、放大器放大后,調制得圖像。鎢燈絲掃描電鏡適合大量的常規檢測。
主要用途:
鎢燈絲掃描電鏡總發射電流和束斑都較大,抗*力和穩定性都較好,低真空下可以對不導電樣品無荷電成像,可用于形貌觀察、顯微結構分析、斷口形貌分析,在材料、地質、礦產、冶金、機械、化學、化工、物理、電子、生物、醫學等領域都有廣泛的用途。
EM科特(EmCrafts)Veritas系列產品技術亮點:
l大尺寸樣品分析 Veritas系列可以分析常規SEM無法分析的大尺寸樣品。例如:晶圓,磁盤
l無損樣品分析 無需切割即可分析樣品。例如PCB,半導體圖案分析
l較重樣品分析 能夠分析重達2kg的樣品。例如巖石,鐵礦石
Veritas鎢燈絲掃描電鏡系列
技術指標: