產品介紹
超緊湊的尺寸
軟電暈預電離
高壓固態脈沖發生器
激光頭體積<3l
TMC（全金屬陶瓷）容器
集成真空泵和鹵素過濾器
風冷，主動熱管理
RS-485，RS232，USB和光纖接口，用于系統集成
可沖洗光學支架
能量穩定模式
ATLEX-S系列激光是一種非常緊湊的紫外光源，專為中低占空比S應用而設計。
產品參數
| 氣體介質 | ArF | KrF | ||
| 波長 nm | 193 | 248 | ||
| 高壓開關技術 | 固態開關 | 固態開關 | ||
| 重復率max. Hz | 300 | 500 | 300 | 500 |
| 脈沖能量max. mJ | 10 | 10 | 15 | 15 |
| 平均功率max. W | 2.4 | 4 | 4 | 6 |
| 脈沖持續時間 ns | 5-8 | |||
| 光束尺寸（V x H） mm | 4 x 6 | |||
| 光束發散角（V x H）mrad | 1 x 2 | |||
| 能量穩定性（標準偏差）% | < 3 | |||
| 尺寸（長x寬x高）mm | 630 x 400 x 300 | |||
| 重量 kg | 65 | |||
| 冷卻 | 空氣 | |||
| 電源要求 | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz | |||
