產(chǎn)品介紹
用于雙激光故障注入的 D-LMS 顯微鏡站是一個平臺，允許獨(dú)立聚焦和掃描兩個激光點(diǎn)，用于集成電路的評估。雙點(diǎn)注射工藝的理想選擇，它提供了所有空間和時間的靈活性，可以通過背面分析電路
性能特點(diǎn)
集成電路評估雙激光站(均通過顯微鏡點(diǎn))
背面激光故障注入的理想選擇
具有高分辨率物鏡的1米以下單模激光光斑尺寸
兩個激光光斑都具有獨(dú)立的時間和空間調(diào)制
通過數(shù)百米的硅來觀察集成電路路徑上的激光點(diǎn)的照相機(jī)
高再現(xiàn)性和高分辨率激光光斑位移
包括三個阿爾法諾夫激光模塊
可選功能與配件
光學(xué)鏡頭技術(shù)
光電發(fā)射套件
熱激光刺激套件
通過CE認(rèn)證的激光外殼完成自動設(shè)置
高分辨率目標(biāo)
技術(shù)參數(shù)
單模光纖激光器
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| PDM+/PDM+ HP | PDM4+ and PDM4+ HP |
| 脈沖持續(xù)時間 | 從1.5納秒到連續(xù)波 | 從1.5納秒到連續(xù)波 |
| 峰值功率 | 高達(dá)3.2瓦 | 高達(dá)10瓦 |
| 波長 | 980納米；1064牛米 | 980納米；1064牛米 |
| 重復(fù)率 | 從單發(fā)到250兆赫 | 從單發(fā)到250兆赫 |
| 命令接口 | TTL/LVTTL /軟件& dlls | TTL/LVTTL /軟件& dlls |
| 光束質(zhì)量 | 單模 | 單模 |
InGaAs 紅外相機(jī)
| Captor | 640x512 µm |
| 動態(tài)量程 | 140 dB |
| 接口 | USB(包含軟件) |
電學(xué)
| 電壓 | 220 V/110 V |
| 電流 | 16 A |
產(chǎn)品參數(shù)
