直接驅(qū)動(dòng)，無(wú)槽，無(wú)刷伺服電機(jī)

零齒槽電機(jī)，出色的速度穩(wěn)定性

出色的誤差運(yùn)動(dòng)和擺動(dòng)性能

直聯(lián)式高精度旋轉(zhuǎn)編碼器

薄型平面設(shè)計(jì)

沒(méi)有機(jī)械接觸

Aerotech的ABRS系列旋轉(zhuǎn)氣浮載物臺(tái)以超薄的外形提供了角度定位，速度穩(wěn)定性和誤差運(yùn)動(dòng)性能。ABRS旨在滿足晶圓檢查，高精度計(jì)量，X射線衍射系統(tǒng)，光學(xué)檢查和制造以及MEMS /納米技術(shù)設(shè)備制造的嚴(yán)格要求。

緊湊包裝

ABRS系列直接驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的設(shè)計(jì)已經(jīng)過(guò)優(yōu)化，可大程度地減少平臺(tái)高度。平臺(tái)的低矮外形降低了系統(tǒng)的有效工作高度，從而減少了與“堆積”有關(guān)的錯(cuò)誤。除了較低的總高度外，ABRS系列還提供了一個(gè)通孔，可用于產(chǎn)品直通，激光束傳輸，電纜間隙或特定應(yīng)用的要求。

機(jī)械設(shè)計(jì)

ABRS設(shè)計(jì)具有大的空氣軸承表面，具有很高的剛度和承載能力，不僅產(chǎn)生出色的軸向和徑向誤差運(yùn)動(dòng)，而且產(chǎn)生出色的傾斜誤差運(yùn)動(dòng)。所產(chǎn)生的面誤差運(yùn)動(dòng)明顯優(yōu)于其他旋轉(zhuǎn)式空氣軸承工作臺(tái)和主軸，極大地受益于需要出色平面性能的應(yīng)用。

無(wú)刷直驅(qū)

為了更好的定位性能，ABRS系列采用了Aerotech的S系列無(wú)槽無(wú)刷電機(jī)。電機(jī)采用磁路設(shè)計(jì)，可產(chǎn)生高扭矩輸出，而產(chǎn)生的熱量最少。無(wú)槽設(shè)計(jì)本質(zhì)上是零齒槽和無(wú)轉(zhuǎn)矩紋波。這使得ABRS位移臺(tái)非常適合需要低速或高速掃描速度的應(yīng)用。

準(zhǔn)確定位

光學(xué)編碼器是ABRS的標(biāo)準(zhǔn)配置。與Aerotech的反饋乘法器和控件配合使用時(shí)，分辨率可達(dá)到<0.03弧秒。

定制設(shè)計(jì)

定制版本的ABRS可用于費(fèi)率表和慣性制導(dǎo)試驗(yàn)臺(tái)應(yīng)用。