鏡頭與XY振鏡掃描儀結合使用稱為F-Theta鏡頭，平面領域目標或簡易掃描鏡頭。ƒ-Theta鏡頭在工業材料加工，鉆孔，合成材料的焊接的各種應用中使用，還包括在科學和研究領域中的醫療和生物（共焦顯微鏡，眼科）切割。設計和光學部件的質量正在發揮決定性作用。對比于一個理想的平面或平面場，標準鏡片在球面上聚焦激光束。采用ƒ-Theta鏡頭提供了聚焦表面、整個XY平面圖像和掃描區域幾乎不變的光斑尺寸。平面上點的位置與掃描角是成正比的。