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ALNAIR硅晶圓厚度傳感器SIT-200

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱天津瑞利光電科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號SIT-200
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2024/5/10 8:00:13
  • 訪問次數157
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天津瑞利光電科技有限公司成立于2016年,公司專注于引進國外前沿光電技術及*光電產品,為國內科學研究與工業應用提供優質的產品和技術服務。目前,瑞利光電已與來自歐洲、美國、以色列、日本等地的多家光電產品生產廠家建立了密切的合作關系,產品包括各類激光器、激光加工機器、光學檢測設備、光學測量與分析儀器、精密定位及光學平臺、光學元件等。我們擁有一支成熟的專業化團隊,相關人員知識經驗豐富,近年來,得益于人才隊伍建設和科學管理實踐,我們的技術服務水平和業務拓展能力日益精進,與多個高校和科研機構的合作伙伴關系不斷深化,公司規模和業務范圍持續擴大,公司競爭力顯著增強,在太陽能、半導體、生物醫療、材料加工、光通訊、國防工業、科學研究等各類*制造與科研領域創造了大量的業績,為客戶輸送了眾多高技術含量、高質量、高精度、高可靠性、高穩定性的產品,同時提供了安裝、調試、培訓、方案研究、集成開發等綜合技術服務,因此,瑞利也得到了來自全國客戶的廣泛贊譽和認可。光電科技領域的*技術和產品對推動我國工業發展和提升科研實力起到了至關重要的作用。瑞利光電始終以“引進高、精、尖技術和產品,助力中國實現強國夢”為使命。我們奉行信義為根,嚴謹為本,精益求精,行思行遠的經營宗旨,力求通過自身的創新發展為客戶持續創造價值,為產業升級,科技強國貢獻力量。
產品介紹用于硅晶片的全光學非接觸式厚度傳感器高動態范圍,能夠測量混亂的表面能夠在濕蝕刻過程中進行原位測量SIT-200使用高速掃頻可調激光器(而不是寬帶光源)來探測被測晶片
ALNAIR硅晶圓厚度傳感器SIT-200 產品信息
產品介紹

用于硅晶片的全光學非接觸式厚度傳感器

高動態范圍,能夠測量混亂的表面

能夠在濕蝕刻過程中進行原位測量

SIT-200使用高速掃頻可調激光器(而不是寬帶光源)來探測被測晶片。這樣就可以對每個波長進行更高功率的測量,從而實現高動態范圍。即使在未拋光的晶片上,例如在濕蝕刻期間/之后,也可以進行厚度測量。硅晶圓厚度傳感器由精確調諧的波長掃描激光源,聚焦傳感器和光接收器(PD)構成。波長掃描光聚焦在目標上,并且在通過傳感器后,PD會檢測到從目標表面反射回來的干涉圖樣。

產品參數

測量對象:硅片

可測厚度:10~500(n = 3.5)μm

光源:波長掃描激光源

(1515~1585)nm

光輸出功率:0.6,激光等級1 mW

引導光源:紅色LD,激光等級1M

測量時間:min.20 ms

重復性:小于0.1(3σ)μm

監控輸出:干擾信號(電氣)

PC接口:以太網

電源:AC 100-240(50/60 Hz)V

尺寸(寬x高x深):364 x 147 x 391 mm

重量:9.0 kg

關鍵詞:傳感器
15700106413
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