產品介紹
MProbe Vis薄膜測量系統是緊湊且多功能的臺式系統。它可以測量不同基板上10nm – 150μm厚度范圍的半透明薄膜。而且，它經濟且易于使用。MProbe Vis（X） 的生產版本設計用于承受振動并使用 LAN 連接 24/7 全天運行。它可用于在線和OEM應用。它與潔凈室環境兼容。MProbe20 VisX系統是MProbe20 Vis系統的一個版本，在更長的波長（>700nm）下具有更高的靈敏度。
性能特點
- 經濟且易于使用
技術參數
- 產地：美國
- 波長范圍（可用）：400-1000nm（典型校準范圍：380-1050nm）和VisX的450nm -1050nm
- 波長分辨率：< 1nm，20μm狹縫（整個光譜均勻）
- 厚度范圍 ： 10nm – 150 μm
- 精度/重復性：<0.01nm 或 0.02%
- 精度：<1nm或0.2%
- 測量光斑尺寸：< 1mm（標準）
- 最小數據采集時間：10 μs
- 光源：5W TH燈，使用壽命10000小時（可選：20W TH燈，使用壽命2000小時）
- 通信接口：USB和1Gb LAN
產品參數
