氣敏測試真空探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本

      該氣敏測試真空探針臺的承片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環境下調節，其中X方向調節范圍：0－30mm；y方向調節范圍：0－13mm；z方向調節范圍：0－13mm；用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測。

1、測試腔、控溫及加熱系統

測試夾具要求：可實現XYZ移動；

測試腔：同時滿足靜態/動態測試，304不銹鋼材質，可在紫外燈下保證氣密性測試；

測試樣品數：同時測試8個樣品，可進行頻率-阻抗測試、插指電極和場效應管測試；

測量溫度：室溫---300 ℃

控溫精度：±1 ℃

顯示精度：±0.1 ℃

測溫傳感器：PT100

升溫斜率：1-10 ℃/min

通訊類型：RS485

加熱功率：500 W

測試腔容積<2 L

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