產品介紹
LAF5S-C2包含1xLAF5傳感器和1xLAF-C2步進/伺服驅動控制器。該系統具有一個完整的Z軸閉環系統,帶有傳感器和電機控制。它配有軟件接口,可輕松設置、使用和診斷所有必要的傳感器和電機參數。易于集成到現有軟件體系結構中。
性能特點
- 用于自動光學檢測系統和工業顯微鏡的激光自動聚焦和跟蹤。
- 傳感器投射出一條更細的線,以聚焦于樣本。
- 適用于LWDPlan Apo鏡頭2x100x、VIS、NIR、NUV、DUV。
- UI界面和軟件庫。
- 電機控制,帶步進電機和伺服驅動器的脈沖輸出。
- 可選電機控制,帶2個高功率隔離LED電源。
技術參數
產地:德國
放大:5 x、10 x、20 x、50 x、100 x
DOF:14µm、3.5µm、1.6µm、0.9µm、0.6µm
激光采樣率:max.5kHz。
視頻采樣率:max.250幀/秒,連續
工作范圍激光:±12000µm、±4000µm、±1500µm、±500µm、±150µm
工作范圍視頻:±5000µm、±1000µm、±400µm、±100µm、±20µm
激光模式:0.5的鏡頭自由度
激光器:二極管激光器660nm,IIIR<2mW,前透鏡
操作溫度:+5°C至+50°C
光束形狀:45°傾斜激光線
重量(傳感器+電纜):400gr
重量(接口):400gr
推薦BS:50/50
激光AF周期:<0.1s
圖像AF周期:<0.4s
混合AF循環時間:0.2s
產品應用
我們的技術能夠自動聚焦:
具有高對比度變化的圖案化表面
具有高倍率透鏡的最小結構
具有不同折射率的材料,如夾層/分層基板
產品參數